可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比。(b)硅烷系偶聯劑本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時使用。上述硅烷系偶聯劑推薦使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以,更推薦滿足。上述硅烷系偶聯劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。上述硅烷系偶聯劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷(bis(triethoxysilyl)methane)、雙(三乙氧基甲硅烷基)乙烷(bis(triethoxysilyl)ethane)、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇((triethoxysilyl)methanol)和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷((triethoxysilyl)methane)組成的組中的一種以上,更推薦為選自由雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷組成的組中的一種以上,**推薦為(三乙氧基甲硅烷基)甲烷和/或(三乙氧基甲硅烷基)甲醇。相對于組合物總重量,上述硅烷系偶聯劑的含量為~10重量%,推薦為~%。如何正確使用蝕刻液。江蘇市面上哪家蝕刻液廠家現貨
將蝕刻液通過回流管抽入到一號排液管中,并由進液管導入到伸縮管中,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環電解蝕刻液的作用;該回收處理裝置通過設置有伸縮管與伸縮桿,能夠在蝕刻液通過進液管流入到電解池中時,啟動液壓缸帶動伸縮桿向上移動,從而通過圓環塊配合伸縮管帶動噴頭向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,避免蝕刻液對電解池造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池的功能;該回收處理裝置通過設置有集氣箱與蓄水箱,能夠在電解蝕刻液結束后,啟動抽氣泵,將電解池中產生的有害氣體抽入到排氣管并導入到集氣箱中,實現有害氣體的清理,接著啟動增壓泵并打開三號電磁閥,將蓄水箱中的清水通過抽水管抽入到進液管中,將裝置主體內部的蝕刻液進行清洗,具有很好的清理作用。附圖說明圖1為本發明的整體結構示意圖;圖2為本發明的內部結構示意圖;圖3為本發明圖2中a的示意圖;圖4為本發明圖3的整體示意圖;圖5為本發明電解池的結構示意圖。圖中:1、裝置主體;2、分隔板;3、承載板;4、電解池;5、隔膜;6、進液漏斗;7、過濾網;8、進液管;9、伸縮管;10、噴頭;11、液壓缸。蘇州格林達蝕刻液銷售公司蝕刻液應用于什么樣的場合?
近年來,oled顯示器廣泛應用于手機和平板顯示。金屬銀以優異的電導率和載流子遷移率被廣泛應用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結構中。為了對此進行蝕刻,目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna)。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發明所要解決的技術問題在于如何解決現有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留、銀再吸附沉積問題。5.本發明通過以下技術手段實現解決上述技術問題的:6.一種銀蝕刻液組合物,其成分由質量占比為40-60%磷酸、2-10%硝酸、%有機酸、%硝酸鹽、%含氮元素有機物、其余為水組成。
將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對應的原料罐,備用;第三步:根據混酸配制表算出各個原料的添加量,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調配罐,將上述混料充分攪拌,攪拌時間為3~5h;第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,繼續攪拌混勻,攪拌時間為3~5h,用磁力泵將混合液通過過濾器循環過濾。作為推薦的技術方案,所述磁力泵出口壓力≤,過濾器入口壓力≤。根據制備銅蝕刻液的原料確定磁力泵的出口壓力和過濾器的入口壓力,包裝原料可以被充分過濾。作為推薦的技術方案,所述調配罐內的溫度設定在30~35℃。調配罐的溫度不能超過35℃,由于過氧化氫的密度隨溫度的升高而減小,因此保證交底的反應溫度有助于保證原料體系的穩定作為推薦的技術方案,所述過濾器的微濾膜孔徑為~μm。作為推薦的技術方案,第三步中各種原料在~,調配罐內填充氮氣,攪拌速度為30~50r/min。作為推薦的技術方案,原料罐和調配罐大拼配量不超過罐容積的80%。本發明的優點和有益效果在于:本發明在制備酸性銅蝕刻液的過程中,用低溫純水(10℃)替代常溫純水(25℃),將低溫純水加入反應體系中,降低反應體系的反應溫度。哪家公司的蝕刻液是比較劃算的?
silane)系偶聯劑和水,上述硅烷系偶聯劑使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。發明效果本發明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優異的硅烷系偶聯劑的效果。此外,本發明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發生的工序不良的圖。圖4是示出能夠將3dnand閃存制造工序中發生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯劑的aeff值與蝕刻程度。金屬蝕刻網會用到蝕刻液嗎;蘇州格林達蝕刻液銷售公司
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可用于銀鎳合金、銀銅合金以及純銀的蝕刻,蝕刻后板面平整光滑。劑對油墨沒有影響,可用于花紋蝕刻處理。三、使用方法:1、原液使用,不須加水,操作溫度可以是25℃-60℃,溫度越高,速度越快。2、將銀板浸泡在銀蝕刻劑中。用軟毛刷來回輕輕刷動,使藥水與銀充分均勻反應;或者也可以用搖床,使藥水來回動運,使板蝕刻速度加快。但不能超聲波,以免破壞(感光)油墨。參考數據:50℃→5分鐘→0.1毫米深度。30℃→20分鐘→0.1毫米深度。3、水洗后做后續處理。江蘇市面上哪家蝕刻液廠家現貨