負的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發生的副反應氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化。本發明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時,能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發生**少化。因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強于適宜水平時發生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發生。以下,對于本發明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯劑以及進行更詳細的說明。(a)磷酸本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用。相對于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,推薦為80~90重量%。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內的情況下。蝕刻液可以蝕刻什么樣的金屬;蘇州天馬用的蝕刻液蝕刻液銷售公司
當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上。由上述的實施說明可知,本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備與現有技術相較之下,本實用新型具有以下優點。本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F象。上海格林達蝕刻液報價BOE蝕刻液專業生產廠家。
步驟一s1:設置一擋液板結構10,其中該擋液板結構10設置有復數個宣泄孔121;該擋液板結構10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其中該第二擋板12具有復數個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121,該復數個宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,其中該宣泄孔121的孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現時,則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面122,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。步驟二s2:使用一設置于該擋液板結構10下方的輸送裝置30輸送一基板20,以經過一噴灑裝置50進行一藥液51噴灑;在本實用新型其一較佳實施例中,該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部,且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對該基板20進行一濕式蝕刻制程,該擋液板結構10的設置即是為了避免該噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程。
可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環電解蝕刻液的作用;裝置主體1左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵19,抽氣泵19下方設置有集氣箱21,集氣箱21與抽氣泵19之間連接有排氣管20,電解池4下端連接有二號排液管22,二號排液管22內部上端設置有二號電磁閥23,裝置主體1內部底端靠近左側設置有傾斜板24,裝置主體1前端表面靠近左上邊角位置設置有活動板25,分隔板2右端放置有蓄水箱26,蓄水箱26上端靠近右側連接有進水管27,回流管15下端連接有抽水管28,抽水管28內部上端設置有三號電磁閥29,裝置主體1前端表面靠近右側安裝有控制面板30,傾斜板24的傾斜角度設計為10°,活動板25前端設置有握把,活動板25與裝置主體1之間設置有鉸鏈,且活動板25通過鉸鏈活動安裝在裝置主體1前端,控制面板30的輸出端分別與增壓泵16、一號電磁閥18、二號電磁閥23和三號電磁閥29的輸入端呈電性連接,通過設置有集氣箱21與蓄水箱26,能夠在電解蝕刻液結束后,啟動抽氣泵19,將電解池4中產生的有害氣體抽入到排氣管20并導入到集氣箱21中,實現有害氣體的清理,接著啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將蓄水箱26中的清水通過抽水管28抽入到進液管8中。蘇州性價比高的蝕刻液。
引線框架的腐蝕是如何生產的呢?引線框架的材料主要是電子銅帶,常見在引線框架中通過亮鎳、錫和錫鉛鍍層下進行鍍鎳完成保護金屬材料的目的,在材質過程中42合金引線相對來說容易發生應力-腐蝕引發的裂紋。為了保障引線框架的優異的導電性和散熱性,處理方式通過電鍍銀、片式電鍍線,將引線和基島表面作特殊處理,這樣能夠保障焊線和引線框架的良好焊接性能。引線框架電鍍銀蝕刻工藝流程主要分:上料-電解除油-活化-預鍍銅-預鍍銀-局部鍍銀-退銀-防銀膠擴散-防銅變色-烘干-收料。通過該蝕刻工藝流程能夠保障引線框架蝕刻過程中電鍍層的厚度、光亮度、粗糙度、潔凈度等。因此,蝕刻引線框架對工藝和工廠的管理需要嚴格控制。 蝕刻液的怎么找到好的廠家;銅蝕刻液蝕刻液廠家現貨
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12、伸縮桿;13、圓環塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。請參閱圖1-5,本發明提供一種技術方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內部中間位置設置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側安裝有進液漏斗6,進液漏斗6上設置有過濾網7,裝置主體1內部靠近頂端設置有進液管8,進液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。蘇州天馬用的蝕刻液蝕刻液銷售公司