勻膠機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用有哪些？

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江陰市希瑞電子有限公司2025-03-02

在半導(dǎo)體行業(yè)中，勻膠機(jī)主要用于光刻工藝中的光刻膠涂布。它能夠?qū)⒐饪棠z均勻涂布在硅片上，形成納米級(jí)厚度的膠層，為后續(xù)的光刻、刻蝕等工藝提供基礎(chǔ)。勻膠機(jī)的精度和穩(wěn)定性直接影響半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量。

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