半導(dǎo)體設(shè)備安裝為什么要做減震措施？

上海笙電電力科技有限公司2025-02-27

半導(dǎo)體設(shè)備多精密昂貴，運行時微小振動都可能影響加工精度。一方面，設(shè)備自身的風機、泵等旋轉(zhuǎn)部件運轉(zhuǎn)產(chǎn)生振動，若不隔離，會傳遞至設(shè)備主體，干擾芯片光刻、蝕刻等精細工序。另一方面，外界振動源，如工廠內(nèi)相鄰設(shè)備、建筑物周邊交通振動，也可能傳入。通過在設(shè)備與基座間安裝橡膠減震墊、空氣彈簧減震器等，其特殊彈性結(jié)構(gòu)能吸收、緩沖振動能量，根據(jù)設(shè)備重量、振動頻率精確選型，將振動影響降至至低，保障芯片制造高精度要求。我們笙電電力科技成立于2016年，是一家專業(yè)從事機電設(shè)備生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、維護和技術(shù)支持的企業(yè)，細心，精心，用心，服務(wù)品質(zhì)永保稱心，歡迎廣大客戶與我司洽談合作！

本回答由 上海笙電電力科技有限公司 提供