真空計用于測量真空系統中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據測量需求選擇合適的真空計類型,常見的有:熱偶真空計:適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計:適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計:適用于中真空...
利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規和冷陰極電離規。a)熱陰極電離規通過加熱陰極使其發射電子,進而與氣體分子發生碰撞并電離。電離產生的離子流隨壓力變化,通過測量離...
真空計是用于測量真空系統中壓力的儀器,具有多種特點,使其在不同應用中表現出色。以下是真空計的主要特點:1. 寬量程適用:真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精...
由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真空度的不同,又...
皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環境中時,由于氣體分子數量減少...
選擇適合的真空計對確保測量精度和系統穩定運行至關重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據應用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選...
真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的...
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環境中壓力的傳感器,應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發生形變。信號轉換:形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信...
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通...
真空計的拆裝需要謹慎操作,以確保設備不受損壞并保持測量精度。以下是拆裝真空計的一般步驟和注意事項。拆卸步驟斷電與泄壓:關閉電源,確保系統斷電。緩慢泄壓,確保系統內無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計與系統的連接。拆卸...
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標準大氣壓,壓強的單位之一。當溫度為0℃(273.1...
真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的...
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標準大氣壓,壓強的單位之一。當溫度為0℃(273.1...
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導:金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子...
真空計的安裝步驟可能因型號和規格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個基本步驟:檢查設備:在安裝前,需要檢查真空計及其相關配件是否完整、無損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應適當選擇真空計的安裝位置,以確保測量結果的準...
1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如,有些真空計的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時能夠方...
皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補償原理,通過測量一個發熱體與一個接收發熱體之間的熱傳導程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時,其溫度會升高。對于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導和對流向周圍介質(即氣體)散熱的速率。在真...
在實際應用中,不同類型的真空計通常結合使用,以覆蓋不同的壓力范圍。同時,為了確保真空計的精度和可靠性,需要定期對其進行校準和維護。此外,在選擇真空計時,還需要考慮其測量范圍、精度、響應時間等性能指標,以及工作環境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上...
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導:金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子...
真空計是用于測量真空系統中壓力的儀器,具有多種特點,使其在不同應用中表現出色。以下是真空計的主要特點:1. 寬量程適用:真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精...
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等...
真空計的主要特點:1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如,有些真空計的傳感器可以更換,這使得在傳感器...
真空計用于測量真空系統中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據測量需求選擇合適的真空計類型,常見的有:熱偶真空計:適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計:適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計:適用于中真空...
1. 機械式真空計機械式真空計通過物理形變或液柱高度差來測量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測量壓力。測量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優點:結構簡單、成本低。缺點:精度較低,不適用于...
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等...
MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:半導體制造:在半導體制造過程中,MEMS電容真空計用于監測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質,從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領域,MEMS電容真空計用于確保加工環境的純度和穩定性,以提高冶...
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環境中壓力的傳感器,應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發生形變。信號轉換:形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信...
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用...
金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構成。當真空度發生變化時,薄膜電容會發生相應的變化,從而導致電容的大小變化。電子測量電路負責測量這個電容的變化,并將之轉換為電信號輸出。具體來說,施加到電容薄膜上的壓力變化會導致膜片間距離變化,進而引起電容的變化。通過測量...
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。根據測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中...