由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來(lái)形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來(lái)表示,根據(jù)真空度的不同,又...
電容薄膜真空計(jì):屬?gòu)椥栽婵沼?jì),其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室,即參考?jí)簭?qiáng)室和測(cè)量室。測(cè)量低壓強(qiáng)(P<100帕)時(shí),參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測(cè)量室壓強(qiáng)不同時(shí),薄膜變形的程度也不同。在測(cè)量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個(gè)電容...
1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方...
選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測(cè)量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測(cè)量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測(cè)量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測(cè)量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選...
渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下,動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)(動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外...
陶瓷薄膜真空計(jì)利用陶瓷材料的壓阻效應(yīng)或電容變化來(lái)測(cè)量真空度。具體來(lái)說(shuō),當(dāng)陶瓷材料受到外力(如真空度變化引起的壓力)作用時(shí),其電阻率或形狀會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量這種電阻率的變化或電容的變化,可以精確計(jì)算出當(dāng)前的真空度。 高精度:陶瓷薄膜真空計(jì)具有高精度和...
真空計(jì)是一種用于測(cè)量氣體壓力的儀器,主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測(cè)試。其工作原理是通過(guò)測(cè)量氣體在不同壓力下對(duì)傳感器的影響來(lái)進(jìn)行壓力測(cè)量。常見(jiàn)的真空計(jì)包括熱導(dǎo)式真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)和毛細(xì)壓力計(jì)等。熱導(dǎo)式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體傳熱的方式...
真空計(jì)的主要特點(diǎn):1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器...
選擇真空計(jì)應(yīng)該注意什么 6. 安裝與接口安裝方式:根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)選擇合適的安裝方式,如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性:確保真空計(jì)的接口與系統(tǒng)兼容。7. 電源與信號(hào)輸出電源需求:選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計(jì)。信號(hào)輸出:根據(jù)需求選擇模擬信號(hào)(如4-20m...
安裝步驟準(zhǔn)備工作:確保安裝區(qū)域清潔,準(zhǔn)備好所需工具和材料。安裝真空計(jì):將真空計(jì)對(duì)準(zhǔn)安裝位置,確保密封面平整。按說(shuō)明書(shū)安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固。連接管路與電氣:連接真空管路,確保密封良好。按標(biāo)記重新連接電氣線路。檢查與測(cè)試:檢查所有連接是否牢固,...
皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂(電阻)。在測(cè)量過(guò)程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí),由于氣體分子數(shù)量減少...
在實(shí)際應(yīng)用中,不同類型的真空計(jì)通常結(jié)合使用,以覆蓋不同的壓力范圍。同時(shí),為了確保真空計(jì)的精度和可靠性,需要定期對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。此外,在選擇真空計(jì)時(shí),還需要考慮其測(cè)量范圍、精度、響應(yīng)時(shí)間等性能指標(biāo),以及工作環(huán)境中的氣體種類、溫度等因素對(duì)真空計(jì)性能的影響。綜上...
皮拉尼真空計(jì)是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測(cè)量?jī)x器,用于低真空到中真空范圍的測(cè)量。其工作原理是通過(guò)測(cè)量氣體分子對(duì)熱絲的熱傳導(dǎo)變化來(lái)確定壓力。工作原理皮拉尼真空計(jì)的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過(guò)氣體分子...
1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過(guò)物理形變或液柱高度差來(lái)測(cè)量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計(jì)原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低。缺點(diǎn):精度較低,不適用于...
1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方...
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無(wú)關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通...
真空計(jì)的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進(jìn)步:隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進(jìn)步,真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計(jì)越來(lái)越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率...
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測(cè)真空泵和真空腔室的壓力。實(shí)驗(yàn)室研究:用于各種真空實(shí)驗(yàn)。真空鍍膜:確保鍍膜過(guò)程在所需真空度下進(jìn)行。食品包裝:用于真空包裝機(jī)的壓力監(jiān)測(cè)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護(hù):...
1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方...
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
常見(jiàn)的真空計(jì)類型包括:直接讀取式真空計(jì):如U型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。這類真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類無(wú)關(guān)。相對(duì)真空計(jì):如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等,它們由一些...
真空計(jì)后續(xù)維護(hù)定期檢查:定期對(duì)真空計(jì)進(jìn)行檢查和維護(hù),確保其處于良好的工作狀態(tài)。清潔保養(yǎng):定期清潔真空計(jì)的接口和氣管,保持其清潔干燥。更換密封件:如果發(fā)現(xiàn)密封件老化或損壞,應(yīng)及時(shí)更換以確保接口的緊密性。校準(zhǔn)儀器:定期對(duì)真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn),以確保其測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。綜...
真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng)、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí),這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計(jì)通過(guò)測(cè)量這種壓力來(lái)間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度。不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,例如:利用力...
真空計(jì)的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進(jìn)步:隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進(jìn)步,真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計(jì)越來(lái)越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率...
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
真空計(jì)的安裝步驟可能因型號(hào)和規(guī)格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個(gè)基本步驟:檢查設(shè)備:在安裝前,需要檢查真空計(jì)及其相關(guān)配件是否完整、無(wú)損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應(yīng)適當(dāng)選擇真空計(jì)的安裝位置,以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)...
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測(cè)真空泵和真空腔室的壓力。實(shí)驗(yàn)室研究:用于各種真空實(shí)驗(yàn)。真空鍍膜:確保鍍膜過(guò)程在所需真空度下進(jìn)行。食品包裝:用于真空包裝機(jī)的壓力監(jiān)測(cè)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護(hù):...
選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測(cè)量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測(cè)量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測(cè)量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測(cè)量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選...
1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過(guò)物理形變或液柱高度差來(lái)測(cè)量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計(jì)原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低。缺點(diǎn):精度較低,不適用于...