紹興移動式氦質譜檢漏儀工作原理

氦檢儀常用的幾種檢漏方法有：氦質譜檢漏方法較多，根據被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點型，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中，應根據檢驗目的選擇較合理的方法，并根據被檢件的具體情況靈活運用各種檢漏方法。測定漏點型氦質譜檢漏方法。確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛星、導彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。氦質譜檢漏儀的關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。紹興移動式氦質譜檢漏儀工作原理

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出。可根據工件大小定制罐體大小。可檢測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業：電子元器件，電子封裝等。氦質譜檢漏背壓法優點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預定值可以取出一半，剩下的一半繼續檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。無錫氦質譜檢漏儀一臺多少錢氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。

氦檢儀在無源器件中的檢漏應用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分，也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點，替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據漏率大小設定。2.取出無源器件，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐，測試罐連接氦檢儀。4.啟動氦檢儀，開始檢漏。

氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到穩定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。在結構組成上，大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統以及電氣系統3部分組成的；

氦質譜檢漏儀的注意事項：1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上，由近而遠的順序進行。4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進人質譜檢漏儀，應立即移去吸口，防止因儀器長時間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業。氦檢儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。常州無損氦質譜檢漏儀品牌推薦

氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。紹興移動式氦質譜檢漏儀工作原理

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。紹興移動式氦質譜檢漏儀工作原理