氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應用類型：(例如：生產，維護等)-干式/傳統的油泵?性能：(進入檢漏模式所需要的時間，靈敏度，響應時間，恢復時間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進氣口壓力：(mbar)，進入檢測模式所需要的時間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應時間：(s)，恢復時間：(s)，初抽能力：將決定進入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進氣口壓力：〉將決定進入檢測模式所需要的時間。進入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。常州小型氦質譜檢漏儀售后服務
氦質譜檢漏儀原理：氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統等先進方向發展。全自動氦質譜檢漏儀工作原理專業用于電廠檢漏的氦檢儀關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。
影響氦質譜檢漏儀檢測精度的因素：1、受到檢測壓力的影響，泄漏率對測試壓力的依賴性，對不同的測量條件是不同的。一般而言，對于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時，試驗壓力對泄漏率的影響較大，而對于多孔性較低時則影響較小。另外，隨測試壓力的增高，還會帶來諸如溫度影響，所需穩定時間加長等一系列問題。因此，建議對特定的工件可采用在一定壓力范圍內進行泄漏檢測，然后選擇一個滿足測試要求的較低的壓力確定為它的測試壓力。2、受到檢測容積的影響，在一個特定的泄漏率值里，如果檢測容積增大的話，那么相應的壓力降低的速度就越低，因而測量時間需要相應增加。在一些特定的條件下，如果不想方設法減少測量容積，那么可能會無法達到測量需要的精確度和靈敏度。
氦檢儀漏率的校準方法：一、環境條件，校準環境溫度為(23±5)℃，校準過程中室溫變化不超過±1℃，環境相對濕度不大于80%。校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。環境溫度較好控制在23℃附近，因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環境溫度一般為23℃。二、標準器的選擇，標準器采用滲氦型標準漏孔，漏率標稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計，測量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。
氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償到零)時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用氦質譜檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個是本底噪聲。溫州便攜式氦質譜檢漏儀技術指導
氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。常州小型氦質譜檢漏儀售后服務
在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時，必須考慮其特性和真空測量的特性：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，恰當選擇安裝位置。表面和密封材料呈現脫氣現象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應該盡可能的短，且密封件數量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應，因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應，這在中真空范圍內與重型氣體（如氬）一起抽空時尤為明顯。這可導致不一致和不準確的讀數。當烴類存在時，電離真空計受到有機分子分解產物的污染。如同濺射效應一樣，讀數可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關點，以避免因上述現象導致的污染。強磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于電離真空計而言。為能夠產生超高真空，必須對真空設備，包括真空計進行烘烤。必須遵守技術要求中規定的蕞大烘烤溫度和條件。常州小型氦質譜檢漏儀售后服務