氦質譜檢漏儀的日常維護：1.定期檢查機械泵的油位，如不足足應及時添加；如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經惡化了。此時，應釋放泵中的油，必要時，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質譜泄漏檢測器中取出，然后清洗，然后用熱風吹干或自然晾干。使用氦質譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性。無損氦質譜檢漏儀特點
氦檢儀測量數據處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。浙江氦質譜檢漏儀品牌推薦氦檢儀自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。
氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業用于電廠檢漏的氦檢儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經降得很低，因此氦質譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產生主要是由于本底峰的不穩定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數不穩定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規，特別是磁放電真空規對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統中抽速不穩定和氦的反擴散。四、氦質譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規等。氦檢儀本底漏率值是什么？
氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養，運行7000h分子泵進行維護和保養。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。常州分體式氦質譜檢漏儀品牌推薦
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術。無損氦質譜檢漏儀特點
氦檢儀在無源器件中的檢漏應用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分，也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點，替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據漏率大小設定。2.取出無源器件，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐，測試罐連接氦檢儀。4.啟動氦檢儀，開始檢漏。無損氦質譜檢漏儀特點