氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個(gè)方面?第1,當(dāng)氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同,即標(biāo)準(zhǔn)泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大,在途中泄漏氦的損失不相等,導(dǎo)致進(jìn)入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二,進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,這時(shí)也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。無錫氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí),由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機(jī)械泵組成,因此在常規(guī)檢測時(shí)通常由前級機(jī)械泵對被檢件預(yù)抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后,再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分;被檢件在檢測前會被要求進(jìn)行清潔前處理,以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞。因此,對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,還需要進(jìn)行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù),避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。浙江全自動氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。
氦檢儀機(jī)械泵故障及處理:1、機(jī)械泵不動作,檢查項(xiàng)目有:氦檢儀電源電壓是否正常,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,電機(jī)是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機(jī)械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變壞,油溫是否<10℃,油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理:1、燈絲無法正常啟動,在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通,消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,只需對故障進(jìn)行定位,交由維修處理。氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器。
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離,再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號,該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。常州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好
氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。無錫氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。無錫氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢