蘇州小型氦質譜檢漏儀哪個牌子好

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。蘇州小型氦質譜檢漏儀哪個牌子好

氦質譜檢漏儀檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。紹興移動式氦質譜檢漏儀技術指導氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。

氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。

氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產品檢漏前首先要對工件的結構和制造工業有所了解，了解有哪些漏源，才能快，準，狠的完成檢漏。質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統：冷阱。分子泵型真空系統一般不加冷阱。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質譜室和被檢件之間的管道上。真空規。一般采用冷陰極磁控放電真室規來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內都附有標準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀，應在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器。溫州進口氦質譜檢漏儀廠家

氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。蘇州小型氦質譜檢漏儀哪個牌子好

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。蘇州小型氦質譜檢漏儀哪個牌子好