在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜，內部有很多管道和傳動機構，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數百立方米，連接管道和內部管道的總長度可達幾公里，焊縫、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數十公里，必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏，所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？南京真空氦質譜檢漏儀技術指導
氦質譜檢漏儀檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。上海臺式氦質譜檢漏儀哪個牌子好氦檢儀用于調節閥的氣路管道進行檢漏。
氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償到零)時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用氦質譜檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
氦檢儀測量數據處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。氦檢儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。
氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理要求是什么？上海全自動氦質譜檢漏儀品牌推薦
氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。南京真空氦質譜檢漏儀技術指導
氦檢儀靈敏度降低應該如何維護？當發現氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。南京真空氦質譜檢漏儀技術指導