任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴的情況，某些不重要的設備中輕微的泄露沒有太大關系，但是汽車管路作為汽車轉配中的重要零部件，關系著車輛和乘員的安全。良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要!傳統的檢漏方法：如加壓水檢法、壓差法、鹵素檢漏法，在檢漏速度、精度及環保性能上都有一定程度的缺陷，而氦檢漏技術，是集真空技術、計算機技術及質譜技術為一體的應用技術，為汽車空調兩器及管路提供專業的檢漏方案。氦檢儀可靠的品質保證普遍的市場應用，氦檢儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進入氦檢儀的質譜室中，使氦檢儀的測量儀表立即靈敏地反應出來，達到了檢漏的目的。此款氦檢儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證的檢漏漏率。氦檢儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式，真空模式及正壓模式，可根據客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。溫州多功能氦質譜檢漏儀一臺多少錢
氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發生化學反應；(4)分子直徑和質量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環境下保持氣體狀態，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內部充入氦氣，實現對特定重點部位的檢漏。滁州無損氦質譜檢漏儀氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。
氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構成:真空系統、質譜室和電子學控制單元。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。質譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質譜室。在質譜室中氦氣被電離，氦離子通過質量分析器的篩選到達收集極，產生一個正比于離子數量的電流信號，該信號經過放大和處理即為泄漏率。
氦檢儀應用領域：工業：真空爐、鍍膜系統、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源?？蒲蓄I域：空間模擬系統、試驗裝置、微電子、表面分析系統。半導體及電子：工藝設備、氣路、氣路傳輸設備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發器、空調、管路。核工業：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。氦檢儀有漏率靈敏度參數，它是儀器在出廠時經過校準的在較佳條件下所能實現的儀器靈敏度。無錫自動氦質譜檢漏儀技術指導
氦檢儀的型號較多，但基本結構大同小異。溫州多功能氦質譜檢漏儀一臺多少錢
氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。溫州多功能氦質譜檢漏儀一臺多少錢