常州智能氦質譜檢漏儀技術指導

氦檢儀測量數據處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。常州智能氦質譜檢漏儀技術指導

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。常州智能氦質譜檢漏儀廠家推薦噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

氦檢儀漏率的校準方法：一、環境條件，校準環境溫度為(23±5)℃，校準過程中室溫變化不超過±1℃，環境相對濕度不大于80%。校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。環境溫度較好控制在23℃附近，因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環境溫度一般為23℃。二、標準器的選擇，標準器采用滲氦型標準漏孔，漏率標稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計，測量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。

氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。產品普遍應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用。

氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？1.對氦質譜檢漏儀真空系統進行保養時，由于常見氦質譜檢漏儀的真空系統部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到規定壓力后，再進入真空系統部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統。否則將直接污染真空系統，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設備自身的保養清理十分重要。2.除了上述氦質譜檢漏儀真空系統需要保養之外，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養維護，避免因設備保養不及時導致設備使用壽命縮短。氦質譜檢漏儀適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。嘉興進口氦質譜檢漏儀氦檢模塊

氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。常州智能氦質譜檢漏儀技術指導

在使用氦檢儀時要如何保養？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動并檢查一次，以保持儀器的高真空系統處于真空狀態，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應避免在安裝現場發生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處（如放氣閥等）進行自檢。）可能出現在儀器上，并在發現泄漏點后及時移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴禁在氦檢儀上，尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲存和使用環境應保持清潔衛生。只有經過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時，請注意儀器的操作。一旦出現大振動、高噪音等狀況時，儀器在操作過程中不能移動。渦輪分子泵正在高速運轉。如果泄漏檢測器移動，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會對氦檢儀造成不良影響。常州智能氦質譜檢漏儀技術指導