江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個就是本底噪聲。實際上，目前通過對電子線路的改進，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度，因此已經(jīng)不是限制設備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應（被污染的情況下更為嚴重）；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦檢儀在使用過程中，較常見的故障就是燈絲脆斷，氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長？造成氦檢儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法氦檢儀檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標準漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。

氦檢儀機械泵故障及處理：1、機械泵不動作，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修處理。氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀特點

氦檢儀緊湊的設計適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規(guī)等。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法