杭州自動氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確；5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛(wèi)星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果。杭州自動氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。南京客制化氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；

氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設(shè)備檢漏。半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。

氦檢儀開機如何操作？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。

氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規(guī)等。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。揚州氦質(zhì)譜檢漏儀供應商

利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。杭州自動氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算，并在測試結(jié)果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值；方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。杭州自動氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

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