山東電子廠房環境檢測認真負責

B.3.3.3.2離散粒子計數器（DPC）測量使用離散粒子計數器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數方法基本相同，不同點只有一處，由于只需要大粒子的計數數據，因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數器的樣本需是直接采自采樣點的空氣；計數器采樣管的長度不得超過1m；離散粒子計數器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中，計數器采樣口的尺寸應適應等動力采樣。在非單向流區域，離散粒子計數器的采樣口應朝上，采樣口直徑應不小于30mm。設定計數器的粒徑范圍，使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現重疊誤差的濃度，應保留一個低于5μm（見GB/T25915.1-2010中表1）的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數據加到大粒徑數據中，濃度之和不應超過所用粒子計數器比較大濃度建議值的50%。引進先進的檢測技術，提升潔凈室檢測的效率和準確性。山東電子廠房環境檢測認真負責

B.2.1.2計數效率測量U描述符所用體系的計數效率應落在圖B.1的陰影之內[1]。該陰影區為性能達標區，其中心對應的選定粒徑超微粒子的計數效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數效率允差的規定，是基于對擴散元件透過率的計算，該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%，對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數器（DPC）或凝聚核計數器（CNC）的計數效率曲線落在圖B.1陰影區之外的右側，則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區之外的左側，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數效率。此時，經改進的離散粒子計數器或凝聚核計數器的計數效率就成為原計數器的計數效率與粒徑限制器透過率的乘積。河北生物安全柜檢測值得推薦對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。

五、潔凈室檢測的應用1.醫藥行業：醫藥制造需要在無菌環境下完成，因此需要設立無菌車間（即“百級”車間）。該車間內所有通風系統均需符合GMP規范，并經常性地受到監管機構審核。2.電子行業：由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成，在微電子制造廠中必須建立超純水站（UPW）以及超純氮氣站（NG）等設施來滿足生產需要。3.航天航空行業：航天器發射前需要進入“百萬級”或“十萬級”無菌車間進行組裝與測試。這些車間具有完成**終裝配所需條件（如真空環境），并能夠有效防止外界雜質進入艙體內部。

潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產品能夠在良好的環境空間中生產制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結構來說，哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響定期對潔凈室管理人員進行培訓和考核，提升其專業素養。

②沉降菌的測試對單向流如5級凈化房間內及層流工作臺測試應在凈化空調系統正常運行不少于10分鐘后開始；對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應在凈化空調系統正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養皿放置在預先確定的取樣點，打開培養皿蓋使培養基表面暴露0.5小時再將培養皿蓋上蓋后倒置。b.培養全部采樣結束，將培養皿倒置于恒溫培養箱中培養。在30-35℃培養時間不少于48小時。每批培養基應有對照試驗檢查培養基本身是否污染可每批選定3只培養皿作對照培養。c.菌落計數用肉眼直接計數然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數。通過潔凈室檢測，可以有效降低產品生產過程中的污染風險。河北生物安全柜檢測值得推薦

合格的第三方潔凈室檢測機構普遍要求要有具體的潔凈相關檢測。山東電子廠房環境檢測認真負責

B.1.2.2空氣懸浮粒子計數規程將離散粒子計數器的采樣探頭放在預定位置，設定計數器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規定的粒徑閾值。在單向流區域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣[1]，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。在風速不受控或不可預測(例如非單向流)的采樣點，采樣口應豎直向上。采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時，連接管的長度和直徑不應超過制造商的建議值。采樣過程中，因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產生的采樣誤差不應大于5%。山東電子廠房環境檢測認真負責