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潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時(shí)間不少于5分鐘。其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。河北電子廠房環(huán)境檢測值得推薦
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時(shí)。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。檢測過程中,應(yīng)確保所有設(shè)備處于正常工作狀態(tài)。
抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進(jìn)行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。通過定期檢測,可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。河北口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測規(guī)范性強(qiáng)
單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室。河北電子廠房環(huán)境檢測值得推薦
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個(gè)名詞是不貼切的,國外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn),例如英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語,并在注中指出,層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當(dāng)時(shí)采用的習(xí)慣用語,“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動(dòng),而是紊流的置換流,用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個(gè)術(shù)語,在該術(shù)語后面同時(shí)也指出習(xí)慣上稱“層流”。河北電子廠房環(huán)境檢測值得推薦