3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質,同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求,對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室(區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置,其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。動態檢測需模擬人員走動、設備運行等真實場景。照度潔凈室檢測評估
從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看,有以下幾個特點:潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運行,滿足必要的談話聯系,提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍,醫療行業則更低。現行的大多數標準均以A聲壓級作為評價指標,也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值,而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統一的容許值。浙江氣流潔凈室檢測標準對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。
9.5.4潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施,其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《和火災危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。9.5.5防靜電接地系統應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環。在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則,其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設,并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時,各種功能接地系統的接地體必須遠離防雷接地系統的接地體,兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB50057的有關規定。
D.3.10自凈時間檢測,應符合下列規定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數器進行檢測,同時應符合下列要求.1)以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間,在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態,記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準時,應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心,發煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,方法同上。3由初始濃度(No)、室內達到穩定的濃度(N)、實際換氣次數(n),可得到計算自凈時間(to),與實測自凈時間(t)進行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。潔凈室等級劃分世界各國均有自定規格。
9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅,不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂,加工處理的貴重零部件損壞;或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故,本條規定應設置備用照明,以防止上述事故和情況發生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上,備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置,節省投資,并對提高潔凈室的潔凈度有利,備用照明宜作為正常照明的一部分。潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。純化水檢測潔凈室檢測標準
潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。照度潔凈室檢測評估
D.3.5氣流流型的檢測,應符合下列規定:1氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法,并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術進***流目測,本法一般是與示蹤法結合,將在攝像機或膜上的粒子圖像等經技術處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等,應根據潔凈室(區)的具體條件洽商確定。照度潔凈室檢測評估