4.2.2潔凈廠房的平面和空間設計應滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應分區(qū)布置,并應與生產(chǎn)操作、工藝設備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術設施進行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應少設隔間,但在下列情況下應進行分隔:1按生產(chǎn)的火災危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術設施的布置,應優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術設施包括送風口、照明器、回風口、各種管線等。檢測為送回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。遼寧潔凈室環(huán)境檢測
1工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應只布置必要的工藝設備,以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴格的工序應布置在上風側,易產(chǎn)生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。4應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線,并預留設備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時,宜設有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應設置單獨的物料入口,物料傳遞路線應極短,物料進人潔凈室(區(qū))之前應進行清潔處理。上海排風柜檢測優(yōu)化價格潔凈室內(nèi)使用的化學品和消毒劑需符合相關安全標準。
潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類(1)空態(tài)設施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產(chǎn)設備、材料及生產(chǎn)人員。(2)靜態(tài)已全部建成的設施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設備并按業(yè)主供應商商定的方式試遠轉,但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。(3)動態(tài)設施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。2、潔凈室與一般通風空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風工程的設計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設計、施工均有特殊的要求與相應的技術措施其造價也相應提高。
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù),是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數(shù),記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風量除以法凈室的容積求得潔凈室檢測需考慮季節(jié)性變化對環(huán)境參數(shù)的影響。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。江西國內(nèi)檢測方便客戶
潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行的密閉性較好的空間。遼寧潔凈室環(huán)境檢測
(1)將所有的門關閉,將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠處,垂直于氣流方向設置周圍無阻擋氣流擾動**小。(2)靜壓差的測定應從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級別比較高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定,直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。(3)對于潔凈度高于5級的單向流層流潔凈室,還應測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側工作面高度的粒子數(shù)。5、檢測時的注意事項在進行潔凈室靜壓差檢測之前,必須先驗證在潔凈室或潔凈設施正常工作時,應該關閉的門全部關閉條件下的送風量與回風量、排風量是否與規(guī)定風量相符。若達不到標準的要求應重新調(diào)整新風量、排風量直至合格為止。遼寧潔凈室環(huán)境檢測