上海靜電潔凈室檢測標準

5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合，使潔凈室形成一個完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內，同時使潔凈室在正常工作時易于保持正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封。目前國內使用的密封方法很多，如液槽密封、機械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝。總之，沒有經過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進入潔凈室內。潔凈室頂棚用輕質壁板應具有一定的承重能力，以便施工、運行時人員行走。在滿足生產工藝的條件下，管道系統應盡量短。上海靜電潔凈室檢測標準

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。安徽潔凈度潔凈室檢測頻率潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行控制的密閉性較好的空間。

5.1.1隨著科學技術的發展，電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速，以集成電路為**的微電子產品尤為***，集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產；微型計算機的迅速發展，使各種元器件生產發展十分迅速。因此，電子工業潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發展的需要，從潔凈廠房的規劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性，以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。潔凈室(區)工業管道的設計應符合現行國家標準《工業金屬管道設計規范》GB50316的有關規定。

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質。不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。安徽消毒液凈化車間環境潔凈室檢測

潔凈室（區)與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。上海靜電潔凈室檢測標準

9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調速裝置后，送風量的調節變得十分容易，送風壓力穩定。同時潔凈室凈化空調系統的送風機采用變頻調速后節能十分***。9.4.3為避免凈化空調系統因風機停轉無風或超溫時，電加熱器繼續送電加熱會造成設備損壞甚至發生火災，本條強制性規定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。上海靜電潔凈室檢測標準