1一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。無塵室的重要性遠(yuǎn)超我們的想象。上海生物安全柜無塵室檢測評估
7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時間不同;2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染,對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;3對溫、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。浙江塵埃粒子無塵室檢測報告無塵室是指可以將環(huán)境因素控制在規(guī)定數(shù)值內(nèi)的空間,稱之為無塵室。
5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運(yùn)輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設(shè)置人員人口、物料入口和設(shè)備出入口,并應(yīng)在各自的人口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下,空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機(jī)房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。
11.3.6安裝空調(diào)設(shè)備四周的設(shè)備層地面應(yīng)作防水處理,并應(yīng)平整、無麻面、不起塵。該處地面應(yīng)設(shè)擋水線,不應(yīng)設(shè)排水溝。擋水線范圍之內(nèi)設(shè)地漏,地漏水封高度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件要求。當(dāng)無明確要求時,不應(yīng)小于70mm。冷凝水出水管應(yīng)有閥門,無冷凝水排出季節(jié)閥門應(yīng)關(guān)閉,并應(yīng)有提示標(biāo)志。11.3.7當(dāng)空調(diào)設(shè)備內(nèi)表冷器設(shè)在負(fù)壓段時,地面應(yīng)設(shè)不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座,底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調(diào)設(shè)備內(nèi)加濕器的安裝應(yīng)設(shè)**支吊架,不得在空調(diào)機(jī)組壁板上開設(shè)固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機(jī)組壁板間應(yīng)做好絕熱、密封處理。指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過20 min自凈后。
12.1.1潔凈廠房的用電負(fù)荷等級和供電要求,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備,應(yīng)由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備,宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)(含制冷機(jī)),應(yīng)由變電所專線供電。塵室通常采用高效的HEPA(高效顆粒空氣)過濾器或ULPA(超高效顆粒空氣)過濾器,可有效過濾微小的灰塵。北京照度無塵室檢測評估
無塵室的設(shè)計充分考慮了環(huán)境污染的來源。上海生物安全柜無塵室檢測評估
E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進(jìn)行,凈化空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常,系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,有無障礙,所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上,且必須實際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,一般可用熱球式風(fēng)速儀,需要測出分速度時,應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計。E.1.4對于單向流潔凈室,可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,如有阻隔面,該測定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面,截面上測點間距不應(yīng)大于1m,一般取0.3m。測點數(shù)應(yīng)不少于20個,均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室,內(nèi)安裝過濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測定風(fēng)量,為測定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,也可用風(fēng)口法。上海生物安全柜無塵室檢測評估