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3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。凡不符合單向流定義的氣流。浙江國內無塵室檢測第三方檢測機構

11.3.6安裝空調設備四周的設備層地面應作防水處理，并應平整、無麻面、不起塵。該處地面應設擋水線，不應設排水溝。擋水線范圍之內設地漏，地漏水封高度應符合設備技術文件要求。當無明確要求時，不應小于70mm。冷凝水出水管應有閥門，無冷凝水排出季節閥門應關閉，并應有提示標志。11.3.7當空調設備內表冷器設在負壓段時，地面應設不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調設備內加濕器的安裝應設**支吊架，不得在空調機組壁板上開設固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機組壁板間應做好絕熱、密封處理。北京風速無塵室檢測分析指潔凈室(區)在生產操作全部結束,生產操作人員撤離現場并經過20 min自凈后。

5.5.6在回、排風口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備，在安裝前應用現場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏，并應確認無漏后安裝。回、排風口安裝后，對非零泄漏邊框密封結構，應再對其邊框掃描檢漏，并應確認無漏；當無法對邊框掃描檢漏時，必須進行生物學等專門評價。5.5.7當在回、排風口上安裝動態氣流密封排風裝置時，應將正壓接管與接嘴牢靠連接，壓差表應安裝于排風裝置近旁目測高度處。排風裝置中的高效過濾器應在裝置外進行掃描檢漏，并應確認無漏后再安入裝置。

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速儀器的小刻度或讀數不應大于0.02m/s，一般可用熱球式風速儀，需要測出分速度時，應采用超聲波三維風速計。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點間距不應大于1m，一般取0.3m。測點數應不少于20個，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內安裝過濾器的風口可采用套管法、風量罩法或風管法測定風量，為測定回風口或新風口風量，也可用風口法。（潔凈室）等級大體可以分為十萬級、萬級、千級、百級、十級。數字越小，潔凈等級越高。

6.2.1氣體系統管道材質及附件，應按設計要求選配，如設計未作明確要求，選用時應與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質相適應，并應符合下列規定：1應使用無縫管材。2管材內表面吸附、解吸氣體的作用小。3管材內表面應光滑、耐磨損。4應具有良好的抗腐蝕性能。5管材金屬組織在焊接處理時不應發生變化。6負壓管道不宜采用普通碳鋼管。6.2.2所用管材應放在室內保管，不得重疊碼放。管道應無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應平直、圓滑。6.2.3成品管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應有效、無破損。設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。浙江實驗室無塵室檢測目的

潔凈室被污染后,凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。浙江國內無塵室檢測第三方檢測機構

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。浙江國內無塵室檢測第三方檢測機構